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直驅(qū)機構(gòu)式壓電掃描臺 N63壓電掃描臺為二維XY軸掃描平臺，一體式結(jié)構(gòu)設(shè)計原理，壓電陶瓷直驅(qū)機構(gòu)，可實現(xiàn)8μm的掃描范圍，臺體高度僅為17mm，閉環(huán)版本具有超高的定位精度，適用于顯微掃描等應(yīng)用。
直驅(qū)機構(gòu)式壓電掃描臺特性
• 二維XY向運動，zui大行程8μm/軸 • zui大承載3kg
• 臺體中心方形通孔，尺寸為Ø62mm • 內(nèi)置高性能壓電陶瓷
• 開環(huán)、閉環(huán)可選
| 外觀形狀 | 產(chǎn)品運動示意圖 | 臺體采用直驅(qū)式結(jié)構(gòu)設(shè)計，出力大 |
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| 一體式超薄結(jié)構(gòu)、高分辨率、閉環(huán)精度高 | 頻率負載曲線 | 壓電陶瓷嵌套式一體結(jié)構(gòu) | |
| N63壓電掃描臺為XY二維平移掃描臺，平臺采用柔性鉸鏈導(dǎo)向壓電陶瓷直驅(qū)的機構(gòu)設(shè)計，具有無間隙、無后坐力、無摩擦等特點，使其具有超高的分辨率達0.2nm。 可選擇內(nèi)置高性能傳感器實現(xiàn)8×8μm范圍內(nèi)超高的定位精度。 N63壓電掃描臺由于具有超薄的結(jié)構(gòu)，臺體僅為17mm，中心通孔非常便于與顯微鏡配套安裝。 |
| N63壓電掃描臺采用壓電陶瓷直驅(qū)機構(gòu)設(shè)計原理，嵌套式機構(gòu)使其具有非常良好的動態(tài)性能。
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| 平穩(wěn)和精確的掃描圓形驅(qū)動 |
| 精準(zhǔn)圓形驅(qū)動控制，可以通過精切定位XY平臺的每一軸，采用正弦波90°相差輸入，也可以通過PID修正位移進行調(diào)整，根據(jù)頻率幅值以及負載使得驅(qū)動控制平穩(wěn)精確。 |
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應(yīng)用
• 圖像處理與穩(wěn)定 • 精密定位 •光學(xué)捕獲 • 掃描顯微 • 干涉/計量 • 半導(dǎo)體測試 • 表面檢測 • 光學(xué)計量 • 光學(xué)顯微成像 • SPM掃描顯微鏡 • 掩模/晶圓定位 • 生物技術(shù) • 表面結(jié)構(gòu)分析
